廣泛的源范圍與低電平精密測量功能相結(jié)合

• 適合功率器件表征的綜合解決方案，高達 1500 A 和 10 kV
• 中等電流測量和高電壓偏置（例如，500 mA，1200 V）
• μΩ 導(dǎo)通測量功能
• 高電壓偏置時，可進行**的 sub-pA 電平電流測量

廣泛的器件測量功能

• 可在高達 +/- 3 kV 直流偏置時執(zhí)行電容測量
• 10μs 高功率脈沖測量
• 溫度測量功能
• 高電壓/強電流快速切換選件，適用于 GaN 電流崩塌效應(yīng)表征

改進的測量效率

• 在高電壓和強電流測量之間自動切換，無需重新布線
• 具有**互鎖機制的標準測試夾具，可進行封裝功率器件測試
• 已經(jīng)過測試并支持高功率 200 A 晶圓上測試
• MS Windows EasyEXPERT 軟件簡化了數(shù)據(jù)管理和數(shù)據(jù)分析流程

可升級和可擴展的硬件體系結(jié)構(gòu)

• 10 模塊插槽
• 支持具有高達 6 個連接引腳的高功率器件

• B1505A 支持各種模塊：高電壓 SMU（HVSMU）、強電流 SMU（HCSMU）、超強電流（UHC）模塊、超高電壓（UHV）模塊和高電壓中等電流（HVMC）模塊。B1505A 還支持：高功率 SMU（1 A/200 V）、中等功率 SMU（100 mA/100 V）、中等電流 SMU（1 A/30V 脈沖，100 mA/30V 直流）和多頻電容測量單元（1 kHz – 5 MHz）。B1505A 的 10 插槽模塊化主機支持您對其進行配置，以滿足您的測量需求。

  B1505A 軟件環(huán)境以 Microsoft® Windows® 7 操作系統(tǒng)為基礎(chǔ)，包括曲線追蹤儀，支持用戶檢測器件特征和探測器件故障。如同使用曲線追蹤儀一樣，B1505A 提供旋鈕控制可變掃描功能，可對參數(shù)（例如擊穿電壓）進行實時測量。B1505A 還提供“示波器查看功能”，可直觀地幫助操作人員優(yōu)化應(yīng)用于器件的電壓和電流。測量設(shè)置信息和數(shù)據(jù)可自動存儲到 B1505A 的內(nèi)置硬盤，并復(fù)制到 USB 閃存和其他便攜存儲器件。將器件測量結(jié)果匯總之后，測量數(shù)據(jù)可輕松復(fù)制到工程報告中。

  強大的測試夾具解決方案對于確保操作人員**（由于生成的高電壓和強電流）和支持各種功率器件封裝類型極為重要。以前的傳統(tǒng)曲線追蹤儀受功率器件大小的限制，無法對某些功率器件進行測試，而且有時為了測試某一器件必須臨時裝配適配器。然而不論器件的大小或形狀如何，B1505A 的測試夾具可連接各種器件，例如功率 MOSFET、二極管和 IGBT 等。這可以通過大型測試夾具適配器和定制的測試夾具模塊來實現(xiàn)。此外，測試夾具的內(nèi)置互鎖機制可確保在測試器件過程中**地應(yīng)用高電壓和強電流。

  安捷倫可提供一個轉(zhuǎn)換套件，使現(xiàn)有的 B1500A 用戶將其 B1500A 主機轉(zhuǎn)換為 B1505A 主機。這使當(dāng)前的 B1500A 用戶能夠以較低的成本擴展現(xiàn)有儀器的電壓和電流測量功能。

  模塊選型指南

  測量資源	所需模塊/擴展器	所需插槽數(shù)	主要技術(shù)指標
  高功率 SMU（HPSMU）	B1510A HPSMU	2	高達 200 V、1 A，10 fA 電流分辨率
  中等功率 SMU（MPSMU）	B1511A MPSMU	1	高達 100 V、100 mA，10 fA 電流分辨率
  強電流 SMU（HCSMU）	B1512A HCSMU	2	20 A/20 V（脈沖）；1 A/40 V（直流）*1
  高電壓 SMU（HVSMU）	B1513B HVSMU	2	1500 V/8 mA；3000 V/4 mA（脈沖和直流）
  中等電流 SMU（MCSMU）	B1514A MCSMU	1	1 A/30 V（脈沖）；100 mA/30 V（直流）
  多頻電容測量單元（MFCMU）	B1520A MFCMU	1	1 kHz 至 5 MHz；0 至 ±25 V，使用 MFCMU 內(nèi)部直流偏置 0 至 ±3000 V，使用 HVSMU 和高電壓偏置 T 型接頭
  高電壓中等電流單元（HVMCU）	M1266A HVSMU 電流擴展器、 B1513B HVSMU 和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU	4 - 6	±1500 V / 2.5 A（脈沖），±2200 V/ 1.1 A（脈沖）
  超強電流單元（UHCU）	N1265A 超強電流擴展器/夾具 和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU	2 - 4	1500 A/ 60 V（脈沖），22.5 kW 峰值功率、 ±500 A / 60 V（脈沖），7.5 kW 峰值功率
  超高電壓單元（UHVU）	N1268A 超高電壓擴展器 和兩個 B1514A MCSMU 或 B1512A HCSMU 和 B1514A MCSMU 組合	2 - 3	10 kV/10 mA（直流），10 kV/ 20 mA（脈沖）

  *1. 使用兩個 HCSMU 和雙 HCSMU 組合適配器，當(dāng)前的范圍可擴展至 40 A/20 V（脈沖）和 2 A/40 V（直流）。

  Microsoft 和 Windows 是微軟公司在美國的注冊商標。